一、為什么要檢漏？

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等)，需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等)，要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?/p>

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

二、泄漏程度的量化

可簡單理解為：單位時(shí)間內(nèi)，單位體積容器，壓強(qiáng)的變化。下面舉兩個例子，可以對漏率的大小有個直觀的認(rèn)識。

例一、自行車胎有 4L 的容積，30 天內(nèi)胎壓從 3 bar 降到 2 bar，則漏率可量化為：

這種程度的泄漏是很嚴(yán)重的，這個漏率是很高的，用我們常用的檢漏方式就能檢測到漏點(diǎn)：將車胎放入水中，有氣泡出來的地方就是漏點(diǎn)。

例二、冰箱 1 年內(nèi)，雪種泄漏了10 克(分子量 102 g/mol)，大約是 2.24 bar·l， 則漏率可量化為：

這種程度的泄漏對冰箱來說，是很嚴(yán)重的，但這樣程度的漏率用普通方法根本無法檢出。這時(shí)就需要用到檢漏儀或質(zhì)譜儀來檢查了。下面的內(nèi)容是檢漏儀的相關(guān)介紹。

三、檢漏儀檢漏的原理

有兩種方式可以檢測出泄漏：

1.示蹤氣體 A 放在容器里面，處于正壓，然后用儀器去檢測，容器外圍是否有氣體 A，如果容器外有氣體 A，則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點(diǎn)，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫 Sniffer 檢漏或正壓檢漏。

2.示蹤氣體 A 噴在容器外面，用儀器去檢測容器里面是否有氣體 A。這種方式能檢測出漏點(diǎn)，并能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。

四、示蹤氣體的選擇

對示蹤氣體的要求：

1. 無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害

2. 質(zhì)量輕，惰性氣體, 能穿透微小細(xì)縫

3. 化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會起化學(xué)反應(yīng)或易燃易爆

4. 最好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求

一般檢漏都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的。

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