真空泵的選擇原則
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍,至今為止還沒(méi)有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到最佳配置,選擇真空系統(tǒng)時(shí),應(yīng)考慮下述各點(diǎn):
1、確定工作真空范圍。
首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。
2、確定極限真空度。
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最佳工作真空度。一般來(lái)講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級(jí)泵的極限真空度低50%。
3、被抽氣體種類(lèi)與抽氣量。
檢查確定工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類(lèi)與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。
4、真空容積。
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏??紤]達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
真空泵抽氣速率計(jì)算公式
S=2.303V/tLog(P1/P2)
其中:S為真空泵抽氣速率(L/s)
V為真空室容積(L)
t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s)
P1為初始真空度(Torr)
P2為要求真空度(Torr)
例如:V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr
則:S=2.303V/t Log(P1/P2)=2.303x500/30xLog(760/50)=35.4L/s
當(dāng)然上式只是理論計(jì)算結(jié)果,還有若干變量因素未考慮進(jìn)去,如管道流阻、泄漏、過(guò)濾器的流阻、被抽氣體溫度等。實(shí)際上還應(yīng)當(dāng)將安全系數(shù)考慮在內(nèi)。所以在選擇的時(shí)候應(yīng)該適當(dāng)?shù)脑黾狱c(diǎn)余量以保證其使用范圍更廣泛。