氦質(zhì)譜檢漏是指從真空腔體外部用氦氣吹向被檢測部位，然后由連接在真空腔體上的氦質(zhì)譜檢漏儀來檢測侵入的氦氣，這是目前最為常用的真空檢漏方式。  

使用氦氣的主要原因以下幾點(diǎn):

(1)對(duì)人體和自然環(huán)境沒有毒害;

(2)不能燃燒，作業(yè)安全;

(3)惰性氣體，和被檢測對(duì)象不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng);

(4)分子直徑和質(zhì)量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏;

(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會(huì)堵住微漏孔;

(6)真空腔體自身放出的體中幾乎不包含氦氣;

(7)氦氣在空氣中的存在量僅為5ppm，容易定點(diǎn)查清楚漏氣位置;

氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)中質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

另外，氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜，或漏率極小時(shí)，可針對(duì)重點(diǎn)部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣，實(shí)現(xiàn)對(duì)特定重點(diǎn)部位的檢漏。

一般情況下，真空檢漏時(shí)要重點(diǎn)關(guān)注以下部位:

(1)法蘭接口部位;

(2)焊接部位;

(3)波紋管部位;

(4)其他密封部位。